系统：【记录被销毁了?。】
盛明安：‘记录没销毁前，你也不?知
？’
系统：【不?记得。】
系统也发现问题，它启动自检程序，从外到
全面搜索。
盛明安喝了?杯
茶，
若有?所思。
***
蓝河科技的每个?人都很忙，研发
更是?忙得脚不?沾地，作为研发副
的计海因?为被策反而当了?商业间谍，人生
一次这么?积极来上班，却也是?每天都在办公室里喝茶看?报。
偶然一天发现研发突然忙碌起来，计海警觉，以为有?了?新动作，赶
喊杜颂
?来问话：“研发是?不?是?有?了?什么?新突破？姓陈的小
和他那个?小白脸
夫最近忙什么?？”
上次
给杜颂一张存有?十万的银行?卡，杜颂没还回来，计海默认他是?自己人，这会问话毫无顾忌。
杜颂想起陈惊璆的叮嘱，如果?计海问话就透
消息，让他带给郑河。
“研发在盛神带领
准备攻破光源系统的
心技术问题，项目已经开启了?。”杜颂如实说：“林工忙着带领团队设计芯片，至于陈总，好像在洽谈合作、投资之类的。”
计海有?懵，这说了?跟没说有?区别？
“?度呢？”
“什么??度？”
“心技术？合作投资的项目？！”
“那我哪知！”
“你——！”
计海觉得自己不?该找杜颂这个?蠢货，他忍怒气小声劝说：“我跟鸿芯那边说了?，人家表示很
迎技术人才。你要是?想通了?，带研发那边的资料去见郑总。”
杜颂
糊：“我再想想。”
计海心里想别的，没多劝，摆手让他
去，回翘班去找郑河将杜颂提供的报
过去，换来郑河的冷笑?。
“蓝河科技一直双担ic设计和光刻机的光源系统制造，业界都知的消息！林成建的
份，我早查清了?！陈惊璆四
拉投资、找合作，到碰
，你以为我不?知？！”郑河有?些愤怒：“你耍我？！”
计海
着额冒的冷汗，慌
否认：“不?不?不?是?……”
郑河重重冷哼，审度计海的目光如刀片般，似乎对计海的才能产生了?怀疑：“那些科研成果?真是?你的？”
计海连连：“当然都是?我的！郑总，您说我一个?搞科研的，怎么?
得来应这
事？”
如果?不?是?科研人员大多非袖善舞，郑河早踹开计海了?。
“虽然你搜来的消息都没用，不?过这也说明蓝河科技最近确实境艰难。”郑河脸
缓和了?些，冷笑?着说：“蓝河科技拉不?到投资，革芯项目没人看?好，陈惊璆居然不?想办法?解决迫在眉睫的资金问题，而是?跑去各个?研究团队找他们合作攻破光刻机技术！”
“哈哈哈哈……”郑河摇，上摇晃着
指嘲讽：“蠢！天真！果?然还是?太年轻！技术是?心没错，但这么?就是?缘木求鱼！”
攻破心技术哪有?那么?容易？
那些科研团队从立项到拿到资金再到解决关键技术问题并实现产业化，可都不?是?一朝一夕的事！
陈惊璆以为就他聪明、就他们想到这个?联合技术链的办法?？
单说那个?光刻机双工作台的心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去了?还没结果?。
技术攻破首要是?资金，没有?资金学人开什么?公司？什么?技术开发？
凭那么?天真
血的冲动想法?而忽略了?脚不?牢靠的基石，太蠢了?。
郑河如是?冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。
陈天鹤正从私人专机上来，落到
国的土地上。
“陈惊璆的事以后不?用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。
他抬观看?这座灯火通明的城市——
加利福尼亚州圣迭戈市，
通总。
陈天鹤此行?的目的。
***
光源系统是?光刻机制造的心，是?晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息相?关。
光源系统主要三?大单元是?光的产生、收集和均一化，初代?光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四代?、第五代?的激光
产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就行?。
光是?雕刻的工
，由激光产生，涉及三?项技术指标即光刻分辨率、
刻
度和产能。
光刻分辨率有?一计算公式，照公式调整影响因?数从而提光刻分辨率，这方面难度不?大，但是?受掩
设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同时?达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。
刻度与光刻分辨率相?关，直接受其影响。
至于产能，则与光源系统的稳定相?关。
以上是?对激光的要求，相?对整个?光源系统的技术要求不?算，系统工程程序最难的步骤是?光的收集。
收集难度大，转化效率也低。
雷客坐在电脑前，
纵鼠标在
件里密的计算：“所需的极紫外光必须在真空?行?反
，不?能被折，因?为它非常容易被
收。真空腔的反镜需要特殊镀，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十几?次反，最终剩的光线不?到2%！”
围观过来的研发成员倒一
凉气，虽早知光源转化率低，但听?到这数字还是?低得让他们心疼。
光源转化率低就意味着能量的
大消耗，最直观的例，一台euv机输功率两百瓦左右，工作一天，耗电三?万度。
光线利用率不?到2%已经是?优化其他
能所能够得到的最佳数据，决定该能优化的决定关键就是?反镜的度。
“度必须以
秒来计算。”
换句话说，光刻机所需的反镜度必须打磨到万亿分之一米。
盛明安：“用硅和钼反复镀，直到光线利用率达到国际标准。”
当有?人反驳：“都是?纳米级镀，反复镀也会影响度，工艺太难了?！”
难度多大？
最浅显易懂的比喻便是?将一面直径不?超过四十厘米的反镜放大至覆盖地面，其平面起伏不?能超过一
发的直径。
而光刻机所需的反镜多达四五十层，平面度一层比一层要求更平整。
全球只有?德国蔡司这家传承三?代?以上的企业才造得这反镜。
当然，反镜不?对华。
盛明安：“不?用担忧反镜能不?能被打磨来，你们只需要尽己所能考虑反镜在光的收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。”
“数
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