换句话说，光刻机所需的反
镜
度必须打磨到万亿分之一米。
盛明安：“用硅和钼反复镀
，直到光线利用率达到国际标准。”
当
有?人反驳：“都是?纳米级镀，反复镀也会影响度，工艺太难了?！”
难度多大？
最浅显易懂的比喻便是?将一面直径不?超过四十厘米的反镜放大至覆盖地面，其平面起伏不?能超过一
发的直径。
而光刻机所需的反镜多达四五十层，平面度一层比一层要求更平整。
全球只有?德国蔡司这家传承三?代?以上的企业才造得
这
反镜。
当然，反镜不?对华
。
盛明安：“不?用担忧反镜能不?能被打磨来，你们只需要尽己所能考虑反镜在光的收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。”
“数据、模型，不?
失败成功，统统记录来。”
盛明安语速打机关枪似的，斩钉截铁、不?容置喙，仿佛难度
到爆表的光源系统在他
里层次分明、井然有?序，所有?的技术难
都可以被轻松解决。
他
有?成竹，心有?沟壑。
他不?必开安
，只要用平淡轻松的气达每一
指令就能安定实验室每个?人退怯、不?自信的心。
“杜颂，打开你的odelica先
?行?初步的超密激光
建模仿真。”
odelica是?一款可实现复杂的
理系统仿真建模的计算机语言
件，可用于光刻机某些超密
件的仿真建模。
杜颂：“已在创建。”
他领着自己小组成员低忙碌。
“雷客，你调整一光路结构。”
“好。”雷客示意助手打开opc（光学邻近矫正）件，通过模型动态仿真结果?计算查找表修正光与图案。
盛明安匍匐在桌案，设计市场需求的激光光源，就目前的技术发展而言，光刻机激光光源仍以激光等离
为主。
驱动光源产生的碎屑数量，光谱纯度，每提一个?技术节消耗的功率和产能……其实日前最先?的euv，其功率消耗大、产能低，再过五六年也未能完
解决这两个?问题。
可盛明安不?清楚。
他虽不?愿用前世记忆盗窃他人成果?提前制造国产光刻机，可前世是?他完解决euv产能低的问题，因?此习惯
顺手将这难题归
待解决列表之一。
以至于后来一举攻破该技术节实现反超asl目标，实属意料之外。
15年5月份左右，国际半导发生了?一件大事。
asl官网对外发布突破光刻机量产瓶颈，正式对外售可量产14n极紫外光刻机！
此举瞬间激起千层浪，全球各界媒报不?休，半导发烧友
闹得跟过年一样纷纷发表讨论。国
贴吧、技术论坛和
乎新帖不?断，基本都是?讨论asl这一举措将带来怎么?的影响。
【光刻
人：asl真正的崛起！】
国科技网对asl的新闻标题被搬到国电发烧友论坛，论坛主搬来这标题就已经表明了?他对未来全球半导地位的划分认可。
【如标题所说，从今以后，asl是?唯一的光刻人！】
【佳能、尼康的时?代?消失了?，光刻机百
齐放共竞争的时?代?一去不?复返，将来只有?asl一骑绝尘的
影！】
【虽然不?想承认，但欧又在一个?重要的领域里实现了?科技霸权！】
【诸位，
合英特尔、通今年年初发布的将于15年实现14n
心
理、年末实现10n心理的新闻发布会
用，而国产光刻机还停留在365n光波
的第三?代?光刻机技术节！】
【拉开了?两代?，落后二十年。】
【华国被死死扼住半导产业的
咙……】
【
到窒息。】
另一个?贴没有?这么?丧气，但基本是?在
asl，回顾asl的历程，曾经也不?过是?个?半生不?死的小公司……
【谁还能记得曾经的asl濒临倒闭？】
【那时?候的尼康和佳能才是?霸权半导领域的大佬，可惜封杀了?台积电林大佬的浸
技术e结果?最后被asl捡漏。】
【asl的崛起之路从这一步开始[
稽]。】
【命运真是?奇妙，谁能料到最后会是?名不?见经传的阿斯麦尔抢先一步研发第五代?光刻机？】
【小声
一句，我国有?机会研发14n光刻机吗？】
【？？asl肯卖给我们一台euv就偷笑?了?，还自主研发？
梦呢！】
【肯定告诉你：有?！二十年后！】
【不?过那个?时?候的半导可能已经发生翻天覆地的变化，
尔定律失效，现有?的光刻机技术臻至极限不?再寸?，或许现了?新的机替代?光刻机，量定律取代?尔定律……我们再次被甩开二十年。】
【也不?必这么?悲观，或许二十年后，华国光刻机技术实现超英赶。】
【尔定律没那么?轻易被取代?，你以为重新诞生一个?定律很容易？】
【盛神不?是?解决了?量纠错的难题吗？很多人
受鼓舞，投量课题研究。只要某个?领域天才成群结队而来，天大的难题被解决也只是?时?间的问题。】
……
【怎么?跑题了?？】
【说回正题，祈祷帝不?会一个?看?我们不?
就对我们实行?芯片制裁吧。】
【什么?意思？】
【asl控
大是?帝公司！】
蓝河科技。
林成建步伐匆匆?研发的休息室，室盛明安和陈惊璆都在，还有?雷客、杜颂等人，他们一边吃
午饭一边继续商讨研究项目。
“看?到最新消息没有?？”
盛明安：“asl euv发布会。”
“对！”林成建坐来
汗，接过雷客倒来的
说：“现在全球订单飞向asl，一台售价12亿金，订单排到了?18年。”
光刻机工艺复杂，就算是?asl一年也只能造十几?台。
“华芯的人也去订单。”
杜颂急问：“怎么?样？”
盛明安不?用问也知结果?，陈惊璆则安静的挑碗里的辣
块规整放到一旁的饭盒盖上，然后推给盛明安。
陈惊璆：“我不?吃辣。”
盛明安抬，扫了?他那碗几?乎没动过的辣，相?信了?。
辣味又香又麻不?呛咙，
多
，
收了?辣的香味，吃起来很刺激
尖。
盛明安很喜
，他说：“谢谢。”
陈惊璆笑?看?着他。
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